Selektive Reinigung und Steuerung
Alle Laserparameter (Wellenlänge, Leistung, Pulsdauer, Spotgröße, Scangeschwindigkeit) können so eingestellt werden, dass genau die Kombination erreicht wird, die benötigt wird, um nur die unerwünschte Schicht zu entfernen, ohne das eigentliche Ausgangsmaterial zu beeinflussen (die Substratart kann auf Mikron-Ebene gesteuert werden).