Selektiv rengøring og kontrol
Alle laserparametre kan justeres (bølgelængde, effekt, pulsvarighed, pletstørrelse, afprægningshastighed) for at opnå den præcise kombination, der kræves for at fjerne kun den uønskede forureningslag, uden at fjerne selve grundmaterialet (substrattypen kan kontrolleres på mikronniveau).