Seçici Təmizləmə və Nəzarət
Lazer parametrlərini (dalğa uzunluğu, güc, puls eni, ləkə ölçüsü, tarama sürəti) yalnız istənilməyən çirklənmə təbəqəsini təmizləmək üçün lazım olan dəqiq kombinasiyaya qədər tənzimləmək olar, baza materialının özünü (substrat növü mikron səviyyəsində idarə oluna bilər) çıxarmadan.